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GJB548《微電子器件試驗(yàn)方法和程序》更新到C版,各類試驗(yàn)方法變化挺大
發(fā)表時(shí)間:2023-07-22 10:19:16

GJB548《微電子器件試驗(yàn)方案和程序》規(guī)定了軍用微電子器件的氣候環(huán)境試驗(yàn)、機(jī)械環(huán)境試驗(yàn)、電學(xué)試驗(yàn)和檢驗(yàn)程序,以及為保證微電子器件滿足預(yù)定用途所要求的質(zhì)量和可靠性而必須的控制措施和限制條件。標(biāo)準(zhǔn)適用于軍用微電子器件。



起草單位的變化  

GJB548B-2005的起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部電子第四研究所、西安電子科技大學(xué)、中國電子科技集團(tuán)公司第 24研究所、中國電子科技集團(tuán)公司第43 研究所、中國電子科技集團(tuán)公司第55 研究所。


GJB548C-2021的起草單位:工業(yè)和信息化部電子第四研究院、北京航空航天大學(xué)、中國電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所、中國電子科技集團(tuán)公司第四十三研究所、中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所、中國航天科技集團(tuán)有限公司第九研究院第七七一研究所、中國航天科技集團(tuán)有限公司第九研究院第七七二研究所、濟(jì)南市半導(dǎo)體元件實(shí)驗(yàn)所。

          

試驗(yàn)方法數(shù)量的變化

GJB548A-1996包含71個(gè)試驗(yàn)方法

GJB548B-2005包含74個(gè)試驗(yàn)方法

GJB548C-2021包含78個(gè)試驗(yàn)方法

      

標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的變化    

GJB548B-2005與GJB548A-1996相比主要變化如下:

  (1)對4.5試驗(yàn)條件中根據(jù)我國實(shí)際操作情況進(jìn)行了改寫;

  (2)對試驗(yàn)方法及圖、表的編號不再加A、B.....等版本號形式,而是對修改過的試驗(yàn)方法加“.1,.2”6等形式;

  (3)增加了試驗(yàn)方法1034《染色滲透試驗(yàn)》、試驗(yàn)方法2029《陶瓷片式載體焊接強(qiáng)度(破壞性推力試驗(yàn))》和試驗(yàn)方法2035《載帶自動焊焊接質(zhì)量的超聲檢測》;

  (4)在方法5004和方法5005中刪除了B1級的有關(guān)內(nèi)容;

  (5)刪除了附錄A、附錄B、附錄C、附錄D。


GJB548C-2021與GJB548B-2005相比主要變化如下:

1. 正文

  (1)更新并增加了引用文件;

  (2)增加了失效模式、失效機(jī)理、標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)等術(shù)語定義;

  (3)增加了電測試應(yīng)在最壞電源電壓條件下進(jìn)行的要求;

  (4)細(xì)化了電測試溫度控制要求(尤其對于混合電路)。

         

2. 方法 1012.1 熱性能

  (1)基于當(dāng)前紅外熱像設(shè)備大多已具備輻射率修正能力,將涂漆要求改為可選操作;

  (2)增加了涂層材料對峰值結(jié)溫的影響說明。

         

3. 方法1014.3 密封

  (1)增加了A5試驗(yàn)條件;

  (2)提高了宇航級混合集成電路器件漏率失效判據(jù);

  (3)細(xì)化了氨質(zhì)譜檢漏法固定方法的內(nèi)腔容積分段;

  (4)增加了累積氦質(zhì)譜檢漏法;

  (5)細(xì)化了光學(xué)檢漏法有關(guān)要求。

         

4. 方法1017.1 中子輻射

  (1)增加了部分術(shù)語定義;

  (2)細(xì)化了輻射源要求,增加了電離總劑量限制指標(biāo)。

         

5. 方法1018.2 內(nèi)部氣體成分分析

  (1)刪除了程序2和程序33;

  (2)細(xì)化了質(zhì)譜儀的校準(zhǔn)要求;

  (3)增加了真空箱和傳遞通道的描述;

  (4)增加了實(shí)驗(yàn)室應(yīng)提供對未知或已存在但未達(dá)到識別濃度的氣體質(zhì)譜描述說明的規(guī)定;

  (5)增加了實(shí)驗(yàn)室無權(quán)判定器件合格或不合格的規(guī)定。

         

6. 方法 1019.3 電離輻射(總劑量)

  (1)增加了部分術(shù)語定義;

  (2)增加了低溫輻射試驗(yàn)規(guī)定;

  (3)增加了使用干冰保存樣品的規(guī)定;

  (4)增加了低劑量率增強(qiáng)效應(yīng)(ELDRS)的判定試驗(yàn)表征試驗(yàn)。

         

7. 方法 1020.2 劑量率感應(yīng)鎖定

   劑量測量系統(tǒng)中增加了閃爍探測器和康普頓二極管。

         

8. 方法 1034.1 染料滲透

  (1)增加了試驗(yàn)設(shè)備,并細(xì)化了規(guī)格參數(shù);

  (2)修改了浸滲劑粘度;

  (3)增加了正常明視場條件下的剖面拍照要求。

         

9. 方法2003.2 可焊性

  (1)增加了部分術(shù)語定義;

  (2)增加了材料和設(shè)備;

  (3)對蒸汽老化作了分類編寫;

  (4)對試驗(yàn)條件作了分類編寫;

  (5)增加了附錄A和附錄B;

  (6)除了可焊性評價(jià)準(zhǔn)則表。

         

10. 方法2004.3 引線牢固性

   (1)增加了部分術(shù)語定義;

   (2)增加了試驗(yàn)條件A1引線釬焊牢固性和試驗(yàn)條件E引線鍍層牢固性;

   (3)修改了剛性引線試驗(yàn)程序;

   (4)彎曲應(yīng)力試驗(yàn)和引線疲勞試驗(yàn)增加了翼型引線和J形引線試驗(yàn)程序。

         

11. 方法2005.1 振動疲勞

    增加了峰值加速度與振幅和頻率的計(jì)算關(guān)系。

         

12. 方法2009.2 外部目檢

   (1)增加了焊球/焊柱陣列引出端缺陷判據(jù);

   (2)增加了玻璃填充底座封裝的玻璃密封處開口泡的缺陷判據(jù)。

         

13. 方法2010.2 內(nèi)部目檢(單片電路)

   (1)增加了受控環(huán)境(潔凈室)要求:

   (2)修改了 S 級金屬化層跨接的擠出金屬缺陷判據(jù)。

         

14. 方法2011.2 鍵合強(qiáng)度

   (1)增加了引線鍵合點(diǎn)剪切試驗(yàn);

   (2)增加了拉力鉤放置位置示意圖。

         

15. 方法2012.2 X射線檢查

   (1)增加了實(shí)時(shí)成像X 射線檢查的設(shè)備和程序要求

   (2)增加了有缺陷密封判據(jù)的示意圖。

         

16. 方法2015.2 耐溶劑性

    修改了刷樣品時(shí)的手壓力。

         

17. 方法2017.2 內(nèi)部目檢(混合電路)

   (1)刪除了一般要求;

   (2)在檢查中增加了附加檢查的規(guī)定;

   (3)鍵合檢查通用要求增加了 H級和K級的擠出金屬缺陷判據(jù)。

         

18. 方法2018.2 掃描電子顯微鏡(SEM)檢查

   (1)增加了對于化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)等平坦化工藝不需要SEM檢查的要求;

   (2)增加了采用芯片或已封裝器件的抽樣方案;

   (3)增加了阻擋層/附著層不需要查的情況;

   (4)修改了鈍化層臺階放大倍數(shù)范圍。


19. 方法2019.3 芯片切強(qiáng)度

   (1)增加了部分術(shù)語定義;

   (2)修改了失效判據(jù)和分離模式。

         

20. 方法 2020.2 粒子碰撞噪聲檢測

   (1)降低了預(yù)置值峰值;

   (2)增加了設(shè)備的數(shù)據(jù)存儲采集與分析可選功能;

   (3)增加了不允許試驗(yàn)大型器件的規(guī)定;

   (4)增加了器件放置位置范圍要求;

   (5)增加了試驗(yàn)頻的計(jì)算公式;

   (6)修改了腔高和頻率典型對應(yīng)值。

         

21. 方法 2023.3 非破壞性鍵合拉力

    增加了拉力鉤放置位置示意圖。

         

22. 方法2030.1 芯片粘接的超聲檢測

    增加了圖例及反射/透射模式對照圖。

         

23. 方法2032.1 無源元件的目檢

   (1)在檢查中增加了附加檢查的規(guī)定;

   (2)細(xì)化了判據(jù)格式說明;

   (3)修改了薄膜元件檢查中的金屬化劃傷判據(jù);

   (4)修改了平面厚膜元件檢查中的金屬化劃傷判據(jù);

   (5)修改了平面厚膜元件檢查中的金屬化空洞判據(jù);

   (6)修改了平面厚膜元件檢查中的厚膜電阻缺陷判據(jù);

   (7)修改了聲表面波元件檢查中的基板材料缺陷判據(jù);

   (8)修改了聲表面波元件檢查中的多余物缺陷判據(jù);

   (9)修正了部分?jǐn)?shù)據(jù)換算錯(cuò)誤。

         

24. 方法2036 耐焊接熱

    新增試驗(yàn)方法。

         

25. 方法2037鉛錫焊料成分分析-X射線光檢測

    新增試驗(yàn)方法。

         

26. 方法2038焊柱陣列封裝的破壞性引線拉力

    新增試驗(yàn)方法。

         

27. 方法3015.1靜電敏感度的分級

   (1)修改了交換引出端以獲得極性相反波形的規(guī)定;

   (2)增加了空腳引出端的試驗(yàn)要求;

   (3)細(xì)化了同名電源引出端的分組規(guī)定;

   (4)增加了可以放置旁路電阻來消除脈沖前電壓的選擇;

   (5)增加了放電結(jié)束后可以將所有引線同時(shí)接地的選擇。

         

28. 方法3023集成電路鎖定

    新增試驗(yàn)方法。

         

29. 方法5004.3篩選程序

    增加了附錄A。

         

30. 方法 5005.3鑒定檢驗(yàn)和質(zhì)量一致性檢驗(yàn)程序

   (1)B級B組檢驗(yàn)增加了芯片剪切或芯片粘接強(qiáng)度試驗(yàn);

   (2)D組檢驗(yàn)增加了耐接熱分組;

   (3)E組檢驗(yàn)增加了單粒子效應(yīng)分組;

   (4)增加了部分注釋。

         

31. 方法5007.2 品圓批驗(yàn)收

   (1)增加了金屬化層厚度和鈍化層厚度按 GJB 597B-2012 執(zhí)行的規(guī)定;

   (2)增加了GaAs、GaN工藝晶圓厚度要求。

         

32. 方法 5009.1 破壞性物理分析

    該方法內(nèi)容已被GJB4027工作項(xiàng)目1100所代替。

         

33. 方法5010.3 復(fù)雜單片微電路檢驗(yàn)程序

    E組檢驗(yàn)增加了瞬態(tài)電離輻射、輻射鎖定和單粒子效應(yīng)分組。

         

34. 方法5013.1 GaAs 工藝的晶圓制造控制和接收程序

   (1)修改了工藝監(jiān)測圖形(PM);

   (2)增加了PM合格率和PM設(shè)置要求。


資料參考:GJB548A-1996、GJB548B-2005、GJB548C-2021